ASET技術研究組合 超先端電子技術開発機構
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マスクD2I技術研究部 第1回 成果報告会

主 催
技術研究組合 超先端電子技術開発機構 (ASET)
共 催
独立行政法人 新エネルギー・産業技術総合開発機構 (NEDO)
日 時
2007年4月6日(金) 14:00〜18:15(報告会)、18:30〜(懇親会)
場 所
総評会館 2階 203会議室
東京メトロ千代田線 新御茶ノ水駅 B3出口 徒歩0分
東京メトロ丸ノ内線 淡路町駅 B3出口 * (B3出口まで徒歩5分)
都営地下鉄新宿線 小川町駅 B3出口 * (B3出口まで徒歩5分)
* B3a出口は、違う方向へ出ますのでご注意ください。
JR中央線・総武線 御茶ノ水駅 聖橋口 徒歩5分
申 込 方 法
誠に申し訳ありませんが、参加申込み受付は終了いたしました。
お問い合わせ
技術研究組合 超先端電子技術開発機構 (ASET)
〒135-8073 東京都江東区青海2-45 タイム24ビル
TEL: 03-5531-0091
FAX: 03-5531-0093
担当:マスクD2I技術研究部 山部・斉藤かおり

プ ロ グ ラ ム (予定)
時 間
テーマ
13:30
開場
14:00
開会
主催者挨拶(ASET 稲垣専務理事)
共催者挨拶(NEDO 電子・情報技術開発部 富田部長殿)
14:10
プロジェクト・リーダ基調講演(東京大学 石原直教授殿)
14:30
マスク設計・描画・検査総合最適化技術開発概要報告(マスクD2I技術研究部 山部部長)
14:40
マスク設計データ処理技術開発報告(マスク設計データ処理技術研究室 井上室長)
15:25
共同研究報告(株式会社 半導体理工学研究センター 執行役員・企画部長 鬼頭殿)
15:55
休憩
16:15
マスク描画装置技術開発報告(マスク描画装置技術研究室 安田室長)
17:00
共同研究報告(名城大学 学長 下山教授殿)
17:25
マスク検査装置技術開発報告(マスク検査装置技術研究室 小川室長)
18:10
来賓ご挨拶(経済産業省 商務情報政策局 情報通信機器課 藤原殿)
18:15
閉会

18:30
懇親会開会(2階 201会議室)