時 間 |
テーマ |
13:30
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開場 |
14:00
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開会 |
主催者挨拶(ASET 稲垣専務理事) |
共催者挨拶(NEDO 電子・情報技術開発部 富田部長殿) |
14:10
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プロジェクト・リーダ基調講演(東京大学 石原直教授殿) |
14:30
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マスク設計・描画・検査総合最適化技術開発概要報告(マスクD2I技術研究部 山部部長) |
14:40
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マスク設計データ処理技術開発報告(マスク設計データ処理技術研究室 井上室長) |
15:25
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共同研究報告(株式会社 半導体理工学研究センター 執行役員・企画部長 鬼頭殿) |
15:55 |
休憩 |
16:15
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マスク描画装置技術開発報告(マスク描画装置技術研究室 安田室長) |
17:00
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共同研究報告(名城大学 学長 下山教授殿) |
17:25
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マスク検査装置技術開発報告(マスク検査装置技術研究室 小川室長) |
18:10 |
来賓ご挨拶(経済産業省 商務情報政策局 情報通信機器課 藤原殿) |
18:15 |
閉会 |
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18:30 |
懇親会開会(2階 201会議室) |