■ICSJ 2012 Best Paper Award 受賞
2012年12月に半導体パッケージング関連の国際会議ICSJ（IEEE CPMT Symposium Japan） 2012において、Best Paper Awardが授与されました。

事業名：立体構造新機能集積回路（ドリームチップ）技術開発プロジェクト
講演題目：PDN Characteristics of 3D-SiP with a Wide-bus Structure under 4k-IO Operations
受賞者：坂井篤、山田茂、苅谷隆、内山士郎、池田博明（超ワイドバスSiP WG）、藤田陽也、高谷寛希、田中陽介、大井園佳聡、鍋島義孝、須藤俊夫（芝浦工業大学）

■SSDM Paper Award 受賞
2009年10月7日にSSDM（International Conference on Solid State Devices and Materials） 2009において、SSDM Paper Awardが授与されました。

事業名：半導体MIRAIプロジェクト
講演題目：High Mobility sub-60nm Gate Length Germanium-On-Insulator Channel pMOSFETs with Metal Source/Drain and TaN MIPS Gate
受賞者：池田圭司、山下良美、原田真臣、山本豊二、中払周、平下紀夫、守山佳彦、手塚勉、田岡紀之、渡邊一世、広瀬信光、杉山直治、高木信一（新構造トランジスタグループ）

■山崎貞一賞 受賞
2008年11月14日に日本学士院において、第8回（財）材料科学技術振興財団 山崎貞一賞が授与されました。

事業名：超先端電子技術開発促進事業　ArFリソグラフィ技術
受賞題目：エキシマレーザリソグラフィ技術の先駆者的研究と工業化推進
受賞者：笹子勝 （ArFリソグラフィ研究室）

■エレクトロニクス実装学会功績賞 受賞
2008年5月に平成20年度エレクトロニクス実装学会功績賞が授与されました。

事業名：超高密度電子SI技術の研究開発　超高密度3次元LSIチップ積層実装技術の研究開発
受賞理由：エレクトロニクス実装学会の制度改革、ASETにおいて3次元実装LSIなど先駆的な技術の開発に貢献
受賞者：盆子原學　(筑波研究センタ）

■経済産業大臣賞 受賞
ASET研究成果の実用化に対して、第4回産学官連携推進会議産学官功労者
経済産業大臣賞を受賞し、2005年6月26日に表彰されました。

事業名：超先端電子技術開発促進事業　超高感度媒体＆新機能素子・成膜
受賞題目：超高密度磁気記録技術の研究開発と実用化
受賞者：山口一幸 （第二研究部）、城石芳博 （技術委員）

■エレクトロニクス実装学会論文賞 受賞
2006年5月に平成18年度エレクトロニクス実装学会論文賞が授与されました。

事業名：超高密度電子SI技術の研究開発　超高密度3次元LSIチップ積層実装技術の研究開発
論文題名：20μmピッチ微細Cuバンプ接合による3次元チップ積層
受賞者：谷田一真、梅本光雄、小島一三、高橋健司 (筑波研究センタ）

■応用物理学会講演奨励賞 受賞
2005年に春季第65回応用物理学関係連合講演会で発表した講演について、講演奨励賞受賞が授与されました。

事業名：半導体MIRAIプロジェクト
講演題目：Ptパーシャルシリサイド（PASI）ゲート電極のHf系ゲート絶縁膜上におけるフェルミレベルピニングの緩和
受賞者：門島勝、生田目俊秀、岩本邦彦、三瀬信行、右田真司、太田裕之、小川有人、高橋正志、佐竹秀喜、鳥海明 （High-kグループ）

■BACUS Photomask 2004 Best Paper Award 受賞
2004年9月にマスク技術国際会議BACUSで発表した講演について、BACUS Photomask 2004 Best Paper Awardが授与されました。

事業名：半導体MIRAIプロジェクト
講演題目：Actinic Detection and Signal Characterization of Multilayer Defects on EUV Mask Blanks
受賞者：手塚好弘、伊東昌昭、寺澤恒男、富江敏尚 （リソ計測グループ）

■Best Session Paper Award 受賞
2004 年5 月にIEEE 54th Electronic Components and Technology Conference (ECTC) 2004で発表した講演について、Best Session Paper Awardが授与されました。

事業名：超高密度電子SI 技術の研究開発　超高密度3次元LSIチップ積層実装技術の研究開発
講演題目：Process Integration of 3D Chip Stack with Vertical Interconnection
受賞者：高橋健司、田口裕一、富坂学、米村均、星野雅孝、上野光生、江川良実、根本義彦、山地泰宏、寺尾博、梅本光雄、亀山工次郎、鈴木彰、岡山芳央、米澤稔浩、近藤和夫 (筑波研究センタ）

■Photomask Japan 2004 Best Presentation Award 受賞
2004年4月にマスク技術国際会議PMJ2004で発表した講演について、Photomask Japan 2004 Best Presentation Awardが授与されました。

事業名：半導体MIRAIプロジェクト
講演題目：High Speed Actinic EUV Mask Blank Inspection with Dark-Field Imaging
受賞者：寺澤恒男、手塚好弘、伊東昌昭、富江敏尚 （リソ計測グループ）

■応用物理学会講演奨励賞 受賞
2004年に春季第64回応用物理学関係連合講演会で発表した講演について、講演奨励賞が授与されました。

事業名：半導体MIRAIプロジェクト
講演題目：メソポーラスシリカLow-k膜におけるシリカ骨格のヤング率
受賞者：高田省三、秦信宏、清野豊、三好秀典、藤井宣年、吉川公麿（Low-kグループ）

■Takuo Sugano Award for Outstanding Far-East Paper 受賞
2004年2月のISSCC (IEEE International Solid-State Circuits Conference) 2004において、Takuo Sugano Award for Outstanding Far-East Paperが授与されました。

事業名：半導体MIRAIプロジェクト
講演題目：Strained SOI Technology for High-Performance, Low-Power CMOS Applications
受賞者：高木信一、水野智久、手塚勉、杉山直治、沼田敏典、臼田宏治、守山佳彦、中払周、古賀淳二、田邊顕人、前田辰郎 （新構造トランジスタグループ）

■電気化学会電子材料委員会シンポジウムアワード 受賞
2003年12月に電気化学会電子材料委員会の第65回半導体・集積回路技術シンポジウムで発表した講演について、半導体・集積回路技術シンポジウムアワードが授与されました。

事業名：半導体MIRAIプロジェクト
講演題目：LL-D&A法を用いて作製したHfAlOx/HfAlOx(N)膜の構造と電気特性
受賞者：生田目俊秀、岩本邦彦、太田裕之、富永浩二、久松裕和、安田哲二、西村智朗、安田直樹、山本克彦、水林亘、大野守史、森田行則、堀川剛、鳥海明 （High-kグループ）

■The 2003 Electron Devices Society George E. Smith Award 受賞
EDL(Electron Device Letter) 2003年4月号に発表した論文が、2003年EDL発表論文年間ベストペーパーに選ばれ、The 2003 Electron Devices Society George E. Smith Awardが授与されました。

事業名：半導体MIRAIプロジェクト
講演題目：(110) Strained-SOI n-MOSFETs with Higher Electron Mobility
受賞者：水野智久、杉山直治、手塚勉、高木信一 （新構造トランジスタグループ）

■Young Researｃher Award 受賞
2003年9月のSSDM（International Conference on Solid State Devices and Materials）2003で発表した講演について、Young Researｃher Awardが授与されました。

事業名：超高密度電子SI技術の研究開発　超高密度3次元LSIチップ積層実装技術の研究開発
講演題目：Micro Cu Bump Interconnection on 3D Chip Stacking Technology
受賞者：谷田一真、梅本光雄、田中直敬、冨田至洋、高橋健司 (筑波研究センタ）

■内閣総理大臣賞 受賞
ASET研究成果の実用化に対して、産学官連携推進会議産学官功労者 内閣総理大臣賞を受賞し、2003年6月8日に表彰されました。

事業名：高効率半導体製造プロセス基盤技術開発　高密度プラズマ処理装置の開発
受賞題目：大口径・高密度プラズマ処理装置の開発
受賞者：大見忠弘 （東北大学）、東哲郎 （東京エレクトロン）

■ICEP 2003 Best Paper Award 受賞
2003年4月のICEP 2003で発表した講演について、Best Paper Awardが授与されました。

事業名：超高密度電子SI技術の研究開発　超高密度3次元LSIチップ積層実装技術の研究開発
講演題名：Ultrafine Pitch Probing Technology to Realize High-Performance Wafer Testing
受賞者：谷岡道修、白井優之、小嶋一三、高橋健司 (筑波研究センタ）

■論文賞 受賞
2003年5月のエレクトロニクス実装学会で発表した講演について、論文賞が授与されました。

事業名：超高密度電子SI技術
講演題目：テストLSIを用いたプリント板からの電磁放射低減に関する検討
受賞者：芳賀知、中野健、須藤俊夫 (最適配線設計研究室）

■MJ賞 受賞
2003年5月のMate（Microjoining and Assembly Technology in Electronics） 2003で発表した講演について、MJ賞が授与されました。

事業名：超高密度電子SI技術の研究開発　超高密度3次元LSIチップ積層実装技術の研究開発
講演題目：20μｍピッチ微細バンプ超音波接続技術
受賞者：秋山雪治、梶原良一、谷田一真、梅本光雄、富田至洋、田子雅基、高橋健司 (筑波研究センタ）

■MES2002　Best　Paper賞　受賞
2002年10月のエレクトロニクス実装学会MES2002で発表した講演について、Best Paper 賞が授与されました。

事業名：超高密度電子SI技術
講演題目：アクティブインタポーザ（AIP）用光素子および基本評価モデルの試作
受賞者：木下雅夫、三川孝、比留間健之、石塚剛、岡部雅寛、平松星紀、熊井晃一、古山英人、松井輝仁、茨木修 (光・電気複合実装技術研究室）

■Best Paper of Session賞　受賞
2002年9月のIMAPS（International Microelectronics and Packaging Society） 2002で発表した講演について、Best Paper of Session賞が授与されました。

事業名：超高密度電子SI技術の研究開発　超高密度3次元LSIチップ積層実装技術の研究開発
講演題目：Ultra-high-density Interconnection Technology of 3-dimensional Packaging
受賞者：高橋健司、梅本光雄、谷田一真、根本義彦、冨田至洋、田子雅基、盆子原學 (筑波研究センタ）

■IECP Awards Outstanding Papers 受賞
2002年4月の2001 ICEPで発表した講演について、ICEP Awards outstanding papers of the 2001 conferenceが授与されました。

事業名：超高密度電子SI技術の研究開発　超高密度3次元LSIチップ積層実装技術の研究開発
受賞者：冨田至洋、森藤忠洋、安藤達也、田子雅基、梶原良一、根本義彦、藤井知徳、佐藤知稔、高橋健司(筑波研究センタ）

■研究奨励賞　受賞
2002年3月の2001 JIEP（Japan Institute of Electronics Packaging）学術講演大会において、研究奨励賞が授与されました。

事業名：超高密度電子SI技術の研究開発　超高密度3次元LSIチップ積層実装技術の研究開発
受賞者：春原昌宏、藤井知徳、星野雅孝、米村均、富坂学、高橋健司 (筑波研究センタ）

■Encouragement Award for Research and Development　受賞
2002年2月のMate（Microjoining and Assembly Technology in Electronics）2002において、（Encuragement Award for Research and Development）開発奨励賞が授与されました。

事業名：超高密度電子SI技術の研究開発
講演題目：光電気基板の作成-高分子光導波路フィルム積層プロセス
受賞者：熊井晃一、三川孝 (武蔵野研究センタ）

■STS Award 2001受賞
2001年12月のＳＴＳ（SEMI Technology Symposium）2001において、ＳＴＳ Award 2001が授与されました。

事業名：超高密度電子SI技術の研究開発　超高密度3次元LSIチップ積層実装技術の研究開発
講演題目：薄型ウェーハと三次元チップ積層実装技術
受賞者：高橋健司 (筑波研究センタ）

■プラズマ材料科学賞 受賞
2001年6月13日に日本学術振興会　プラズマ材料科学第153委員会において、第４回プラズマ材料科学賞が授与されました。

事業名：超先端電子技術開発促進事業
受賞理由：経験的な技術を科学的な理解にもとづく効率的な技術開発基盤の構築を目指した研究開発活動
受賞者：ASETプラズマ技術研究室

■Best Presentation Award 受賞
2001年のPhotomask Japan 2001において、SPIEよりBest Presentation Awardが授与されました。

事業名：超先端電子技術開発促進事業
講演題目：E-beam Reticle Writing System for Next Generation Reticle Fabrication
受賞者：藤井憲、水野一亥、中原哲二、浅井枢容、門脇康浩、島田肇、任田浩、飯泉謙、高橋弘之、大貫和喜、川原敏一、河崎勝浩、永田浩司、佐藤秀寿 (EBL日立研究室)

■講演奨励賞 受賞
2001年春季の第10回応用物理学会連合講演会において、応用物理学会講演奨励賞が授与されました。

事業名：超先端電子技術開発促進事業
講演題目：C-F系ポリマー膜厚の影響を考慮した酸化膜エッチングレートの計算（2）
受賞者：小林政治、辰巳哲也、山岡義和、松井都、川嶋健治、関根誠(プラズマ研究室)

■Outstanding Technical Paper Award　受賞
2000年12月のEPTC (Electronics Packaging Technology Conference) 2000において、Outstanding Technical Paper Award（OTP賞）が授与されました。

事業名：超高密度電子SI技術の研究開発　超高密度3次元LSIチップ積層実装技術の研究開発
講演題目：Copper Bump Bonding with Electｒoless Metal Cap on 3D Stacked Structureｓ
受賞者：冨田至洋 (筑波研究センタ)

■講演奨励賞 受賞
2000年春季の第８回応用物理学会連合講演会において、応用物理学会講演奨励賞が授与されました。

事業名：超先端電子技術開発促進事業
講演題目：高選択酸化膜エッチングにおける孔底表面状態の解析
受賞者：松井都、辰巳哲也、小澤信男、関根誠 (プラズマ研究室)

■Outstanding Poster Paper Award　受賞
1998年の第5回International Display Workshops 1998において、Outstanding Poster Paper Awardが授与されました。

事業名：超先端電子技術開発促進事業　機能電子材料設計・制御・分析等技術
講演題目：An Analysis of the Photo-Polymerization Induced Phase Separation Process in Liquid Crystal/Polymer Composite Films
受賞者：藤沢宣、林正直、中田秀俊、松本茂、谷雄一郎、矢田真、相沢政男 （大日本インキ化学工業研究室）