理事長よりのご挨拶
理事長よりのご挨拶
役員構成
役員構成
組織図
組織図
組合員
組合員
2011年度事業報告(PDF)1.88MB
2011年度事業報告(PDF)1.88MB
2010年度事業報告(PDF)1.79MB
2010年度事業報告(PDF)1.79MB
CP.D2Iフォーマット仕様書(PDF)195KB
CP.D2Iフォーマット仕様書(PDF)195KB
MDRフォーマット仕様書(PDF)232KB
MDRフォーマット仕様書(PDF)232KB
超先端電子技術開発 半導体技術
超先端電子技術開発 半導体技術
超先端電子技術開発 磁気記録技術
超先端電子技術開発 磁気記録技術
超先端電子技術開発 反射型液晶技術
超先端電子技術開発 反射型液晶技術
PFC代替プロセス技術
PFC代替プロセス技術
半導体製造装置基盤技術
半導体製造装置基盤技術
高効率次世代半導体製造システム技術開発
高効率次世代半導体製造システム技術開発
超高密度電子SI技術
超高密度電子SI技術
EUVリソグラフィプロセス技術
EUVリソグラフィプロセス技術
MIRAIプロジェクト
MIRAIプロジェクト
マスクD2Iプロジェクト
マスクD2Iプロジェクト
セキュア・プラットフォームプロジェクト
セキュア・プラットフォームプロジェクト
次世代情報家電ソフトウェア・プラットフォームプロジェクト
次世代情報家電ソフトウェア・プラットフォームプロジェクト
その1(PDF)4.46MB
その1(PDF)4.46MB
その2(PDF)3.47MB
その2(PDF)3.47MB
その3(PDF)2.12MB
その3(PDF)2.12MB
研究開発プロジェクト
研究開発プロジェクト
研究開発推移
研究開発推移
研究開発が終了したプロジェクト
研究開発が終了したプロジェクト
完了プロジェクトの研究成果
完了プロジェクトの研究成果
研究成果の受賞
研究成果の受賞
研究成果実用化の例
研究成果実用化の例
研究開発実施体制
研究開発実施体制
事業費推移
事業費推移
組合員分担
組合員分担
ビジョン研究会報告書(PDF)1.57MB
ビジョン研究会報告書(PDF)1.57MB
研究成果(ビジョン研究会パンフレット)
研究成果(ビジョン研究会パンフレット)
研究成果(「ドリームチッププロジェクト研究成果報告会」資料
研究成果(「ドリームチッププロジェクト研究成果報告会」資料
経済産業省
経済産業省
産業技術総合研究所
産業技術総合研究所
新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)
新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)
研究開発パートナーシップ~新「技術研究組合制度」~
研究開発パートナーシップ~新「技術研究組合制度」~
超低電圧デバイス技術研究組合(LEAP)
超低電圧デバイス技術研究組合(LEAP)
本部
本部
研究センター
研究センター
セキュア・プラットフォームの実証実験に成功
セキュア・プラットフォームの実証実験に成功
仮想サーバ環境での安心・安全な業務システム構築・運用の実証実験を実施
仮想サーバ環境での安心・安全な業務システム構築・運用の実証実験を実施
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English
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倫理規範
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● 半導体製造装置基盤技術(平成11年~16年度)
次世代製造技術に向けた先進的プラズマ技術、レーザ光源、プロセス高速化、省エネルギ技術を開発、成果の一部は既に商品化されている。
RLSA方式プラズマプロセス技術
光電子・光触媒法による局所クリーン化技術
高密度、均一プラズマにより高耐圧ゲート絶縁膜を実現
微粒子、有機物質汚染を除去する局所クリーン化技術
BED方式プラズマ技術
高密度・高速半導体検査用プローブカード技術
ばらつきを抑制し、均一性を向上した
エッチング装置技術を開発
アモルファス合金、マイクロマシン技術による
高速・多ピンプローブピン技術
F2レーザーリソグラフィ技術開発プロジェクト
繰返し6KHz、60W、スペクトル幅0.2μmの光源を開発
実証投影光学系で照度均一性 ±0,2%を実証
吸収率・散乱率評価装置を開発し、薄膜での損失0.3%以下を達成
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