ASET技術研究組合　超先端電子技術開発機構
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完了プロジェクトの研究成果

  
 
　●　高効率次世代半導体製造システム技術開発(HALCAプロジェクト)(平成13年〜15年度)
  
 
段階投資を可能にするコストスケーラブルな投資の実現
段階投資を可能にするコストスケーラブルな投資の実現
60％省エネの達成
60％省エネの達成
プロセスタイムRPTの削減
プロセスタイムRPTの削減
SRAM試作で一貫Ref.品と同等の特性
SRAM試作で一貫Ref.品と同等の特性