ASET技術研究組合　超先端電子技術開発機構
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完了プロジェクトの研究成果

  
 
　● PFC代替プロセス技術(平成11年〜15年度)
  
 
SiO2の高効率選択エッチング技術の開発
直鎖状C4F6ガスの開発PFC排出減少、エッチ速度良好
SiO2の高効率選択エッチング技術の開発 直鎖状C4F6ガスの開発PFC排出減少、エッチ速度良好
ライン・ピラープロセスの実証
ライン・ピラープロセスの実証