ASET技術研究組合　超先端電子技術開発機構
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完了プロジェクトの研究成果

  
 
　● 超高密度電子SI技術(平成11年～15年度)
  
 
 
 
超高密度三次元LSI積層実装技術
超高密度三次元LSI積層実装技術
積層実装技術を開発
超高密度三次元LSI積層実装技術
貫通電極の断面

超高密度三次元LSI積層実装技術
貫通電極（TSV）を用いたCCD撮像モジュールを試作
光・電気複合実装技術
最適配線構造設計要素技術
光・電気複合実装技術
光実装部品を開発、2000万画素表示モニタを試作
最適配線構造設計要素技術
磁気光素子プローブを開発、10μm空間分解能実現
EMI対策基板によりVCCI クラスB規格を達成