理事長

遠　藤　信　博

日本電気株式会社

　　副理事長

佐　相　秀　幸

富士通株式会社

　　専務理事

稲　垣　謙　三

常勤

　　理事

小豆畑　　　茂

株式会社日立製作所

高　須　秀　視

ローム株式会社

水　嶋　繁　光

シャープ株式会社

斉　藤　史　郎

株式会社東芝

森　戸　辰　臣

常勤

　　監事

長谷川　英　一

一般社団法人電子情報技術産業協会

常　松　政　養

一般社団法人日本半導体製造装置協会

平成24年5月29日現在